| 主权项 |
一种激光等离子体极紫外光源的产生装置，包括真空腔室以及位于所述真空腔室内的收集镜、聚焦镜、固体靶材和电机；其特征在于，还包括驱动光源和辅助光源；所述辅助光源用于产生辅助激光，所述辅助激光辐射所述固体靶材并使得所述固体靶材的热影响区域的温度升高至温度阈值；所述电机用于带动所述固体靶材旋转，所述驱动光源用于产生驱动激光，所述驱动激光通过所述聚焦镜聚焦后辐射所述固体靶材的所述热影响区域并产生等离子体辐射出极紫外光；当所述辅助光源和所述驱动光源辐射在所述固体靶材的同一个位置时，所述辅助光源产生的辅助激光辐射在第一位置(11)上，所述固体靶材在所述第一位置(11)的区域温度会上升，形成热影响区域；当所述热影响区域的温度上升至设定的温度阈值时，关闭辅助光源，驱动光源开始辐射所述热影响区域并产生等离子体，等离子体辐射极紫外光；所述电机(8)带动所述固体靶材旋转，使得所述辅助光源辐射到靶材的第二位置(12)上；同理所述第二位置(12)产生等离子体，等离子体辐射极紫外光后，所述电机旋转并使得所述辅助光源辐射至第三位置(13)，依次执行直至所述固体靶材的各个位置均产生等离子体，从而延长所述固体靶材的使用时间；当所述辅助光源和所述驱动光源在所述固体靶材的不同位置时，所述辅助光源产生的辅助激光辐射在第一位置(11)上，所述固体靶材在所述第一位置(11)的区域温度会上升，形成热影响区域；当所述热影响区域的温度上升至设定的温度阈值时，所述电机(8)旋转并带动所述固体靶材(7)使得所述辅助光源辐射到第二位置(12)上，此时开启所述驱动光源并辐射到所述第一位置(11)上，产生等离子体，辐射出极紫外光；当第二位置(12)上的热影响区域的温度上升至设定的温度阈值时，所述电机旋转并带动所述固体靶材，使得所述辅助光源辐射到第三位置(13)上，此时开启驱动光源并辐射到第二位置(12)；依次执行直至所述固体靶材的各个位置均产生等离子体。 |
