热处理装置以及热处理方法

摘要

本发明涉及抑制冷却时的温度分布不均的热处理装置及热处理方法，具有使用喷雾状的冷却液对被加热了的被处理物进行冷却的冷却工序，交互地反复进行以第一喷雾密度对被处理物进行冷却的第一工序（K1）、和以密度小于第一喷雾密度的第二喷雾密度对被处理物进行冷却的第二工序（K2）而进行热处理。

主权项

一种热处理方法，具有将加热后的被处理物配置在冷却室内，通过喷雾状的冷却液与所述被处理物接触而蒸发，利用所述冷却液的蒸发潜热对加热后的被处理物进行冷却的冷却工序，其特征在于，所述热处理方法还具有调整工序，基于上述喷雾状的冷却液的供给温度而调整上述冷却室内的压力，使得上述冷却液的沸点与上述供给温度的温度差一定，在上述冷却工序中，交替地反复进行下述工序：以第一喷雾密度对上述被处理物进行冷却的第一工序、和利用第二喷雾密度对上述被处理物进行冷却的第二工序，所述第二喷雾密度是比上述第一喷雾密度的密度小的密度。