发明名称 半導体装置およびその製造方法
摘要
申请公布号 JP5729317(B2) 申请公布日期 2015.06.03
申请号 JP20120013438 申请日期 2012.01.25
申请人 发明人
分类号 H01L29/06;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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