发明名称 表面被覆膜的形成方法和具有表面被覆膜的太阳能电池
摘要 本发明提供一种表面被覆膜的形成方法,其能通过简单的形成方法形成特性优异的表面被覆膜,降低太阳能电池等最终产品的制造成本。该表面被覆膜的形成方法中,将包含表面被覆膜形成用化合物成分和有机溶剂成分的表面被覆膜形成用组合物涂布于被覆对象基材,形成涂布膜,对所述涂布膜进行烧成,形成具有选自Si、Ti、Zr元素中的2种以上元素的表面被覆膜,其中,所述表面被覆膜形成用化合物成分具有选自Si、Ti、Zr元素的2种以上元素。
申请公布号 CN104685611A 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201380050849.3 申请日期 2013.09.03
申请人 东京应化工业株式会社;国立大学法人东京农工大学 发明人 上迫浩一;吉叶修平;谷津克也
分类号 H01L21/316(2006.01)I;H01L31/04(2014.01)I 主分类号 H01L21/316(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 葛凡
主权项 一种具有选自Si、Ti、Zr元素中的2种以上元素的表面被覆膜的形成方法,其包括以下工序:涂布工序,将包含表面被覆膜形成用化合物成分和有机溶剂成分的表面被覆膜形成用组合物涂布于被覆对象基材,形成涂布膜,其中,所述表面被覆膜形成用化合物成分具有选自Si、Ti、Zr元素的2种以上元素;烧成工序,对所述涂布膜进行烧成。
地址 日本神奈川县