发明名称 Bearbeitungsvorrichtung
摘要 Eine Bearbeitungsvorrichtung umfasst eine expandierbare und zusammenziehbare Balgeinheit, die auf einer Werkstückhalteeinheit zum Abdecken einer Bewegungsfläche der Werkstückhalteeinheit in einer Zuführrichtung angebracht ist, und eine Führungseinheit zum Führen der Expansion und des Zusammenziehens der Balgeinheit in der Zuführrichtung. Die Führungseinheit weist eine Öffnung, um die Bewegung der Werkstückhalteeinheit in der Zuführrichtung zu ermöglichen, und eine Rinne auf, welche sich in der Zuführrichtung benachbart zu der Öffnung erstreckt. Die Balgeinheit weist ein Balgelement auf, dessen eines Ende mit der Werkstückhalteeinheit verbunden ist und dessen anderes Ende mit der Führungseinheit verbunden ist. Die Bearbeitungsvorrichtung umfasst ferner eine Schwebeeinheit, um das Balgelement entlang der Rinne der Führungseinheit kontaktlos schweben zu lassen.
申请公布号 DE102014224516(A1) 申请公布日期 2015.06.03
申请号 DE201410224516 申请日期 2014.12.01
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 FUJISAWA, SHINICHI,;MATSUYAMA, TOSHIFUMI,;SUWANO, JUN,
分类号 B65H5/00;H01L21/67 主分类号 B65H5/00
代理机构 代理人
主权项
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