一种用于金刚石生产的防烟灰装置

摘要

本实用新型公开了一种用于金刚石生产的防烟灰装置，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内，位于谐振腔腔体内的基台上，所述防烟灰装置包括圆柱状钼质基片，所述圆柱状钼质基片端部套设有圆环状玻璃挡板，两者间隙配合，圆环状玻璃挡板的作用是防止烟灰在基台表面的沉积，生成的烟灰会直接落在圆环状玻璃挡板表面，避免了金刚石生长过程中的烟灰沉积对设备的影响，结构简单合理，方便清洗，实用性好。

主权项

一种用于金刚石生产的防烟灰装置，用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体(3)内，置于谐振腔腔体内的基台(4)上；其特征在于：所述防烟灰装置包括圆柱状钼质基片(2)，所述圆柱状钼质基片(2)端部套设有圆环状玻璃挡板(1)，两者间隙配合。