| 发明名称 |
shield member of preventing pollution in film deposition chamber |
| 摘要 |
<p>본 발명은 챔버 오염 방지용 쉴드 부재에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 탈부착이 용이하며 재사용이 가능한 챔버 오염 방지용 쉴드 부재에 관한 것이다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101525065(B1) |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
| 申请号 |
KR20130076809 |
申请日期 |
2013.07.02 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/24;H01L51/56;H05B33/10 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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