| 发明名称 | 用于激光加热和离子注入的装置和方法 | ||
| 摘要 | 本公开涉及用于激光加热和离子注入的装置和方法。处理包括：将衬底暴露于离子束，并且同时地或者在离子注入之后立刻使用激光来使表面退火。另外，可以利用激光器以在离子注入之前预热衬底。激光器将衬底加热到不导致抗蚀剂层被损伤的温度。通过利用激光器以从顶表面加热衬底，抗蚀剂不受损，从而允许使用光致抗蚀剂材料。 | ||
| 申请公布号 | CN104681419A | 申请公布日期 | 2015.06.03 |
| 申请号 | CN201410679836.9 | 申请日期 | 2014.11.24 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | N·布雷尔 |
| 分类号 | H01L21/265(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/265(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 罗银燕 |
| 主权项 | 一种装置，包括：离子注入器，用于产生适于注入衬底的离子束；以及激光器，适于使衬底退火，其中，激光器适于在离子注入器注入衬底的区域之后的预定时间段内加热所述区域。 | ||
| 地址 | 美国纽约 | ||