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发明名称 A method of etching the surface of germanium
摘要
申请公布号 GB844263(A) 申请公布日期 1960.08.10
申请号 GB19570027340 申请日期 1957.08.30
申请人 SONY KABUSHIKI KAISHA 发明人
分类号 C23F3/04;H01L21/00 主分类号 C23F3/04
代理机构 代理人
主权项
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