发明名称 一种阳极自冷却等离子体源
摘要 本实用新型公开了一种阳极自冷却等离子体源,包括阴极、阳极和外壳,所述阴极和阳极分别固定设置在外壳的两端,阴极、阳极和外壳组合形成气流通道,所述阳极内部设置有冷却通道,所述阳极上设置有分别与冷却通道相通的进气口和出气口,所述冷却通道通过出气口与气流通道连通,所述气流通道与阳极的电弧通道连通,工作时,工作气体依次经冷却通道和气流通道后进入电弧通道。本实用新型能够解决以下技术问题:一是能够利用工作气体自冷却阳极;二是能够提高工作气体进入电弧通道的温度,从而提高等离子体源的热效率;三是能够平衡电弧通道内外工作气体压力,稳定等离子体射流。
申请公布号 CN204377240U 申请公布日期 2015.06.03
申请号 CN201520080235.6 申请日期 2015.02.05
申请人 成都真火科技有限公司 发明人 黄佳华;王鹏飞;王井楠;赵华;任琼英;李向阳;李露
分类号 H05H1/28(2006.01)I 主分类号 H05H1/28(2006.01)I
代理机构 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 代理人 冉鹏程
主权项 一种阳极自冷却等离子体源,其特征在于:包括阴极(1)、阳极(2)和外壳(4),所述阴极(1)和阳极(2)分别固定设置在外壳(4)的两端,阴极(1)、阳极(2)和外壳(4)组合形成气流通道(7),所述阳极(2)内部设置有冷却通道(5),所述阳极(2)上设置有分别与冷却通道(5)相通的进气口(9)和出气口(10),所述冷却通道(5)通过出气口(10)与气流通道(7)连通,所述气流通道(7)与阳极(2)的电弧通道(6)连通,工作时,工作气体依次经冷却通道(5)和气流通道(7)后进入电弧通道(6)。
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