发明名称 |
一种阳极自冷却等离子体源 |
摘要 |
本实用新型公开了一种阳极自冷却等离子体源,包括阴极、阳极和外壳,所述阴极和阳极分别固定设置在外壳的两端,阴极、阳极和外壳组合形成气流通道,所述阳极内部设置有冷却通道,所述阳极上设置有分别与冷却通道相通的进气口和出气口,所述冷却通道通过出气口与气流通道连通,所述气流通道与阳极的电弧通道连通,工作时,工作气体依次经冷却通道和气流通道后进入电弧通道。本实用新型能够解决以下技术问题:一是能够利用工作气体自冷却阳极;二是能够提高工作气体进入电弧通道的温度,从而提高等离子体源的热效率;三是能够平衡电弧通道内外工作气体压力,稳定等离子体射流。 |
申请公布号 |
CN204377240U |
申请公布日期 |
2015.06.03 |
申请号 |
CN201520080235.6 |
申请日期 |
2015.02.05 |
申请人 |
成都真火科技有限公司 |
发明人 |
黄佳华;王鹏飞;王井楠;赵华;任琼英;李向阳;李露 |
分类号 |
H05H1/28(2006.01)I |
主分类号 |
H05H1/28(2006.01)I |
代理机构 |
成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 |
代理人 |
冉鹏程 |
主权项 |
一种阳极自冷却等离子体源,其特征在于:包括阴极(1)、阳极(2)和外壳(4),所述阴极(1)和阳极(2)分别固定设置在外壳(4)的两端,阴极(1)、阳极(2)和外壳(4)组合形成气流通道(7),所述阳极(2)内部设置有冷却通道(5),所述阳极(2)上设置有分别与冷却通道(5)相通的进气口(9)和出气口(10),所述冷却通道(5)通过出气口(10)与气流通道(7)连通,所述气流通道(7)与阳极(2)的电弧通道(6)连通,工作时,工作气体依次经冷却通道(5)和气流通道(7)后进入电弧通道(6)。 |
地址 |
610016 四川省成都市高新区肖家河中街9号 |