| 发明名称 | 一种薄膜检测装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种薄膜检测装置，其特征在于，包括：光源，用于提供包含不同波段的照明光束；光学元件单元，包括物镜，该光学元件单元用于将照明光束通过该物镜照射到待测对象上，并收集该待测对象的反射光束；滤波器，用于使不同波段的照明光束或反射光束在空间上进行分离；面阵探测器，位于该物镜瞳面或者物镜瞳面的共轭面以采集反射光束的角谱信息；处理器，用于对该角谱信息进行分析计算。 | ||
| 申请公布号 | CN104677299A | 申请公布日期 | 2015.06.03 |
| 申请号 | CN201310618148.7 | 申请日期 | 2013.11.29 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 周钰颖;王帆 |
| 分类号 | G01B11/06(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I;G01N21/47(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种薄膜检测装置，其特征在于，包括： 光源，用于提供包含不同波段的照明光束； 光学元件单元，包括物镜，所述光学元件单元用于将照明光束通过所述物镜照射到待测对象上，并收集所述待测对象的反射光束； 滤波器，用于使不同波段的照明光束或反射光束在空间上进行分离； 面阵探测器，位于所述物镜瞳面或者物镜瞳面的共轭面以采集反射光束的角谱信息； 处理器，用于对所述角谱信息进行分析计算。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||