一种检测基质内缺陷的方法及装置

摘要

一种检测基质内缺陷的方法及装置。其中，检测基质内缺陷的方法包括：提供检测光束和参考光束；将所述检测光束自所述基质第一表面的入射点沿光学检测路径入射至第二表面上与入射点一一对应的反射点，分别以检测光束经过的光学检测路径上各点处产生的背向散射光的集合作为该点对应的样本光束；分别采集各样本光束和所述参考光束相互干涉形成的干涉信号，以获取光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，与该光学检测路径上各点之间的光学长度信息；根据所述光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，判断所述光学检测路径上是否存在缺陷。本发明的检测方法能正确区分基质内缺陷的类型，提高了检测缺陷的正确率。

主权项

一种检测基质内缺陷的方法，所述基质具有相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上分布多个入射点，其特征在于，所述方法包括：提供检测光束和参考光束；将所述检测光束自所述基质第一表面的入射点沿光学检测路径入射至第二表面上与入射点一一对应的反射点，分别以检测光束经过的光学检测路径上各点处产生的背向散射光的集合作为该点对应的样本光束；分别采集各样本光束和所述参考光束相互干涉形成的干涉信号，以获取光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，与该光学检测路径上各点之间的光学长度信息；根据所述光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息，判断所述光学检测路径上是否存在缺陷；如果所述光学检测路径上存在缺陷，根据已知的所属光学检测路径的物理长度、所述光学检测路径上各点的背向散射光的光强信息、所述光学检测路径的光学长度以及所述基质相对于所述检测光束的折射率，判断所述缺陷的类型；如果所述缺陷类型为气泡，根据所述光学检测路径上分布的各点的背向散射光的光强信息确定所述光学检测路径所经过的物理界面的数量，并根据所述物理界面的数量判断气泡的开闭类型。