一种硅片推片装置用推送机构

摘要

一种硅片推片装置用推送机构，包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述推送机构支架的顶部设有一主动皮带轮和一从动皮带轮，所述主动皮带轮和从动皮带轮上套设有闭环的皮带，所述主动皮带轮的转轴与一驱动马达的输出轴驱动连接；所述推杆一端固定在推杆固定部上，另一端为自由端，所述推杆固定部与皮带固接；所述推送机构支架的顶部沿主动皮带轮和从动皮带轮连线的方向设有推杆固定部导轨，所述推杆固定部滑动支撑于所述推杆固定部导轨上。本实用新型的推杆在推杆固定部导轨的限位下，在皮带的驱动下往复移动，具有移动平稳的优点。

主权项

一种硅片推片装置用推送机构，其特征在于：包括一推送机构支架、推杆和推杆固定部；所述推送机构支架的顶部设有一主动皮带轮和一从动皮带轮，所述主动皮带轮和从动皮带轮上套设有闭环的皮带，所述主动皮带轮的转轴与一驱动马达的输出轴驱动连接；所述推杆一端固定在推杆固定部上，另一端为自由端，所述推杆固定部与皮带固接；所述推送机构支架的顶部沿主动皮带轮和从动皮带轮连线的方向设有推杆固定部导轨，所述推杆固定部滑动支撑于所述推杆固定部导轨上。