能量衰减器、激光输出计、激光输出测定方法以及激光输出监视系统

摘要

本发明的激光输出计由下述部件构成：受光体(1)，其在其内表面对激光进行受光，并将激光输出变换为热；壳体(3)，在其与受光体外表面之间形成水路(2)；受光体(1)和壳体(3)之间的隔热体(4)；能量衰减器(6)，其设置有温度测定单元(5a或5b)，该温度测定单元(5a或5b)用于测定由受光体(1)吸收的热量；变换单元(21)，其将温度测定单元(5a或5b)的信号变换为激光的输出值。

主权项

一种能量衰减器，其特征在于，具有：受光体，该受光体在其内表面对来自激光振荡器的激光进行受光，将激光输出变换为热；壳体，其以包围所述受光体的外表面的方式安装在所述受光体上，在与所述受光体的外表面之间形成冷却水的水路；向所述水路的入水孔以及出水孔，它们设置在所述壳体上；隔热体，其在所述受光体和所述壳体的安装部上，将所述受光体和所述壳体热绝缘；以及温度测定单元，其测定所述受光体的温度。