| 发明名称 | 一种蚀刻机 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种蚀刻机，在机箱内设置有蚀刻槽和冲水槽及驱动装置，驱动装置上连接有篮筐，篮筐上设置有第一旋转轴和第二旋转轴，驱动装置驱动篮筐绕第一旋转轴自转，并驱动第一旋转轴绕第二旋转轴旋转。本发明提高了腐蚀均匀性和腐蚀速度及冲洗均匀性和冲洗速度。 | ||
| 申请公布号 | CN104674221A | 申请公布日期 | 2015.06.03 |
| 申请号 | CN201510070295.4 | 申请日期 | 2015.02.10 |
| 申请人 | 菏泽力芯电子科技有限公司 | 发明人 | 裴文龙 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京恒都律师事务所 11395 | 代理人 | 李向东 |
| 主权项 | 一种蚀刻机，在机箱(1)内设置有蚀刻槽(5)和冲水槽(6)及驱动装置，驱动装置上连接有篮筐(15)，其特征在于，篮筐(15)上设置有第一旋转轴(150)和第二旋转轴(151)，驱动装置驱动篮筐(15)绕第一旋转轴(150)自转，并驱动第一旋转轴(150)绕第二旋转轴(151)旋转。 | ||
| 地址 | 274000 山东省菏泽市开发区岳程办事处岳楼社区八一东路33号 | ||