一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：1）获得含有大颗粒的溶液A；2）获得含有小颗粒的溶液B；3）将溶液A和溶液B混合，搅拌，获得混合溶液C；4）将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底干燥；5）在光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成ZnO基透明导电薄膜；其中，在步骤1）和步骤2）中，颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体，大颗粒与小颗粒的粒径差为250~350nm。本发明的双结构绒面ZnO基透明导电薄膜制备方法，无需经过湿法刻蚀即可在光伏玻璃基底的一侧获得双结构绒面ZnO基透明导电薄膜，同时，在光伏玻璃基底的另一侧得到减反射薄膜，操作简单，适合工业化大规模应用。

主权项

一种双结构绒面ZnO基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)将1份体积的颗粒源、1.5～3.5份体积的催化剂、2～3份体积的去离子水、10～20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌8～10小时，再加入1份体积的颗粒源及0.1～0.2份体积的去离子水，搅拌8～10小时，获得含有大颗粒的溶液A；2)将1份体积的颗粒源、0.5～2份体积的催化剂、1.5～3.5份体积的去离子水、10～20份体积的有机溶剂，在室温下搅拌3～8小时，获得含有小颗粒的溶液B；3)将溶液A和溶液B以1:(0.25～2)的体积比混合，继续搅拌3～6小时，获得含有不同粒径颗粒的混合溶液C；4)采用涂覆技术将混合溶液C涂覆在光伏玻璃基底的一侧，之后将溶液B涂覆在光伏玻璃基底的另一侧，然后将该玻璃基底在100～400℃温度下干燥10～60分钟；5)采用直流磁控溅射法在涂覆有混合溶液C并干燥的光伏玻璃基底的一侧溅射沉积形成厚度为500～1000nm的ZnO基透明导电薄膜，其中，光伏玻璃基底的温度为25～300℃，磁控溅射的靶材为ZnO或ZnO基陶瓷，磁控溅射的溅射腔真空度小于1×10^‑3Pa，溅射气压为0.2～1.5Pa；在步骤1)和步骤2)中，所述的颗粒源指的是硅氧化物或金属氧化物的前驱体；所述的大颗粒与所述的小颗粒的粒径差为250～350nm；所述的颗粒源为正硅酸甲酯、正硅酸四乙酯、钛酸正丁酯、醋酸锌、硝酸锌、四氯化钛、氯氧化锆中的一种或几种；在步骤1)中，所述的大颗粒为SiO₂、TiO₂、ZnO、ZrO₂中的一种或几种；在步骤2)中，所述的小颗粒为SiO₂、TiO₂、ZnO、ZrO₂中的一种或几种；在步骤1)和步骤2)中，所述的催化剂为氨水、尿素、氢氧化钠中的一种；在步骤1)和步骤2)中，所述的有机溶剂为乙醇、异丙醇、乙二醇、乙醇胺、二乙醇胺中的一种或几种。