自对准双极晶体管及其制造方法

摘要

本发明公开了一种自对准双极晶体管，通过发射区窗口介质层定义出发射区窗口和外基区自对准注入区，能实现发射区和外基区之间的良好对准；发射区由形成于发射区窗口中的多晶硅和发射区窗口介质层的上层多晶硅膜组成，能使发射区窗口做的很小，从而能减少器件尺寸，并能减少发射区和外基区的耦合区域、从而能降低发射区和基区间的寄生电容，最后能提高器件的频率特性和性能。本发明还公开了一种自对准双极晶体管的制造方法，外基区注入为自对准注入，从而能够节省形成外基区的光刻层，降低工艺成本；形成发射区时对发射极多晶硅进行的回刻为全面回刻，也能节省一层光刻掩模板，降低工艺成本和复杂度。

主权项

一种自对准双极晶体管，形成于硅衬底上，有源区由浅槽场氧隔离，其特征在于，自对准双极晶体管包括：一集电区，由形成于所述有源区中的一N型离子注入区组成，所述集电区深度大于所述浅槽场氧底部的深度；一赝埋层，由形成于所述有源区两侧的浅槽场氧底部的N型离子注入区组成，所述赝埋层还延伸到所述有源区中并和所述集电区的底部相接触，在所述赝埋层顶部的所述浅槽场氧中形成有深孔接触，该深孔接触引出集电极；一P型掺杂的基区，所述基区由形成于所述有源区上方的基区外延层组成，所述基区和所述集电区形成接触，所述基区还延伸到所述有源区外侧的所述浅槽场氧上；一发射区窗口介质层，所述发射区窗口介质层包括内侧面和外侧面并组成一围绕式结构，所述发射区窗口介质层的内侧面围成的区域为发射区窗口，所述发射区窗口介质层的外侧面以外的区域为外基区自对准注入区；所述发射区窗口位于所述有源区的正上方、且所述发射区窗口的尺寸小于或等于所述有源区尺寸；所述发射区窗口将所述基区露出；所述发射区窗口介质层的外侧面和所述有源区相交使所述外基区自对准注入区和所述有源区的位置能交叠；所述发射区窗口介质层为一复合膜，所述发射区窗口介质层的复合膜包括下层氧化膜和上层多晶硅膜的复合膜，所述下层氧化膜和所述基区表面接触，所述上层多晶硅膜位于所述下层氧化膜上；在所述发射区窗口中填充有发射极多晶硅，所述发射极多晶硅和所述上层多晶硅膜相接触且都N型掺杂，由所述发射极多晶硅和所述上层多晶硅膜一起组成发射区；所述发射极多晶硅和所述发射区窗口底部的所述基区接触；在所述发射区上形成有金属接触，该金属接触引出发射极；根据形成于所述硅衬底上的位置不同所述基区分为本征基区和外基区，位于所述发射区窗口介质层的外侧面以内区域的所述基区为所述本征基区、所述本征基区外部的所述基区为所述外基区；所述外基区的P型掺杂杂质还包括自对准注入杂质，所述自对准注入杂质的自对准的阻挡区域为所述发射区窗口介质层的外侧面以内区域；在所述外基区上形成有金属接触，该金属接触引出基极。