镀膜设备及输送模组;DEPOSITION APPARATUS AND CONVEYER MODULE

摘要

一种镀膜设备，包括一输送模组及一靶源。输送模组包括一基座、多个第一输送件及多个第二输送件。各第一输送件固定于基座且具有一第一斜面。各第二输送件可动地配置于基座且具有一第二斜面。第二斜面分别对应于第一斜面。当第二输送件位于第一位置时，工件适于被承载于第一斜面的其中任一。当第二输送件从第一位置移动至第二位置时，工件被第二斜面推离第一斜面并沿第二斜面往相邻的另一第一斜面滚动。当第二输送件从第二位置移动至第一位置时，工件沿所述另一第一斜面滚动并被承载于所述另一第一斜面。靶源适于对工件进行镀膜。