单晶矽提拉用二氧化矽容器及其制造方法

主权项

一种单晶矽提拉用二氧化矽容器，于内侧具有由透明二氧化矽玻璃所构成的透明层，于外侧具有由含有气泡之不透明二氧化矽玻璃所构成的不透明层，该单晶矽提拉用二氧化矽容器的特征在于：前述透明层，位于前述二氧化矽容器的内表面侧，并由高OH基层与低OH基层所构成，该高OH基层以300~1500massppm的浓度含有OH基且厚度是0.5mm以上且3mm以下，该低OH基层的OH基浓度低于该高OH基层，且算数平均的OH基浓度值为60massppm以下；对前述高OH基层的内表面，以25~1000μg/cm2的浓度涂布Ba。