发明名称 用于线锯之切割液体组合物
摘要
申请公布号 TWI486429 申请公布日期 2015.06.01
申请号 TW098143966 申请日期 2009.12.21
申请人 卡博特微电子公司 发明人 葛伦拜 史帝芬;纳古 奈文
分类号 C09K3/14;B26D1/547 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种水性线锯切割液体组合物,其包含:研磨剂颗粒;水性载体,其包含65至99重量%的水且进一步含有增稠剂;及至少一种氢抑制剂,其系选自由0.01重量%至20重量%之具有18或更少的HLB之亲水性聚合物、0.01重量%至20重量%之含有疏水性部分(其链中包含至少6个碳原子)且具有18或更少的HLB之界面活性剂、0.01重量%至4重量%之聚矽氧、及0.01重量%至4重量%之氢清除剂所组成之群;其中该研磨剂、增稠剂及氢抑制剂系该组合物之个别及不同的组分,其中该氢清除剂系选自由氢反应性金属化合物、矽反应性金属化合物、氢化矽烷化触媒及有机电子传递剂所组成之群,其中该氢反应性金属化合物或矽反应性金属化合物系Pt、Pd、Rh、Ru或Cu、或该等金属之无机盐、或该等金属之有机金属盐,其中该氢化矽烷化触媒系Pt、Pd、Rh、Ru或Cu之无机或有机金属盐,且其中该有机电子传递剂系选自醌、TEMPO、或其他形成自由基之化合物。
地址 美国