用于化学机械研磨浆液之注入的方法及装置

主权项

一种用以在半导体晶圆与化学机械研磨工具之研磨垫间注入浆液之注入器装置，该注入器装置包含：注入器上表面，包含一个以上的注入器上表面开口；注入器下表面，包含复数个注入器下表面开口，其中该注入器下表面面向研磨垫上表面，且其中该注入器下表面靠在该研磨垫上表面；及注入器凹后缘，其中该注入器凹后缘系适合于该化学机械研磨工具之研磨头之前缘的尺寸及形状；其中经由该一个以上的注入器上表面开口引入的CMP浆液行进经过该注入器装置中的通道，经由该等注入器下表面开口流出该注入器装置而抵达该研磨垫上表面；其中该注入器装置系安装至一具有一弹簧及一轴环之杆，以确保与该研磨垫上表面接触，以及该注入器装置系万向连接的，以便该注入器装置可以自由地移动至可被该研磨垫上表面允许之程度。