探针仪

摘要

提供可以容易将探针头交换的探针仪。探针仪(10)，是具备：本体(12)、及被配置于该本体(12)的内部将晶圆(W)载置的载台(11)、及被配置于本体(12)的内部且相面对于载台(11)的探针卡(16)、及被配置于本体(12)的内部朝向探针卡(16)可移动的探针头支架(24)，探针卡(16)是具有从该探针卡(16)可装卸且配置有复数探针针(35)的探针头(30)，探针头支架(24)是将探针头(30)保持并朝向探针卡(16)移动。