镀膜设备;DEPOSITION APPARATUS

摘要

一种镀膜设备，包括一中空座体、一靶源及一散热元件。中空座体具有一开口。中空座体内具有至少一导引斜面，导引斜面往开口倾斜。靶源固定于中空座体且适于对一工件进行镀膜。散热元件位于中空座体内以对靶源进行散热。来自散热元件的一液体适于沿导引斜面往开口流动并通过开口而离开中空座体。