具有多孔性界面及实心核之抛光垫及相关装置与方法;POLISHING PAD WITH POROUS INTERFACE AND SOLID CORE, AND RELATED APPARATUS AND METHODS

摘要

本发明揭示一种用于化学机械抛光之抛光垫。该抛光垫具有多孔性界面及实质上无孔块状核。亦揭示使用及制备该抛光垫之相关装置及方法。