| 发明名称 | 基板输送加工之磁力夹持装置及其输送加工设备 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWM502245 | 申请公布日期 | 2015.06.01 |
| 申请号 | TW104200316 | 申请日期 | 2015.01.08 |
| 申请人 | 扬博科技股份有限公司 | 发明人 | 巫坤星;吕理榕;黄世达;苏绍君;锺添达 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L21/683 | 主分类号 | H01L21/677 |
| 代理机构 | 代理人 | 谢佩玲 台北市大安区罗斯福路2段107号12楼;王耀华 台北市大安区罗斯福路2段107号12楼 | |
| 主权项 | 【第1项】一种基板输送加工之磁力夹持装置，包括：一托板；一立杆，由该托板下方竖立延伸；一夹具座，连接于该立杆上；以及复数夹具，间隔设置于该夹具座上；其中，各该夹具包含一夹持部、以及一与该夹持部远离设置而呈翘板结构的释放部，所述夹持部皆具有可呈相互开启或闭合的二夹壁，该二夹壁分别延伸出至少一夹爪，且各该夹爪上各设有一弹性材质之夹垫，藉以构成所述夹具。 | ||
| 地址 | 台北市信义区松德路171号17楼 | ||