侦测装置，微影装置，物品的制造方法以及侦测方法

主权项

一种侦测装置，用于侦测在基板上的异物粒子，该侦测装置包括：一板，具有在一第一面上的一第一图样；一第二图样，布置在不同于该第一面的一第二面上；一驱动机构，配置来使该基板及该板互相接触；一测量单元，配置来在该基板及该板互相接触的状态下，测量该第一图样及该第二图样之间的相对位置偏差；以及一处理单元，配置来执行处理，以根据由该测量单元所测得的该位置偏差来侦测在该基板上的异物粒子。