液体处理装置;LIQUID TREATMENT DEVICE

摘要

本发明提供一种，可将杯体周围之环境气体维持在乾净的状态之液体处理装置。 液体处理装置16，对旋转的基板W供给处理液以施行液体处理，围绕构件20、23、24，包围旋转的基板W，将包含上方设置有开口的杯体50之上方空间在内的区域，于较该杯体50更为外方侧包围。气流形成部21，自杯体50之上方侧形成下降气流，而底面部28，沿着周向将杯体50与围绕构件20、23、24之间封闭。在较杯体50更为外侧，设置排气口241、231，将较底面部28更为上方的围绕构件20、23、24及底面部28所包围之区域排气。