三模式静电准直器;TRIPLE MODE ELECTROSTATIC COLLIMATOR

摘要

一种系统包含：第一电极，用于接收离子束；第二电极，用于接收穿过第一电极之后的离子束，其中第一电极与第二电极中的其中之一的凸面和其中另一的凹面界定上游间隙；第三电极，用于接收穿过第二电极之后的离子束，其中第二电极与第三电极中的其中之一的凸面和其中另一的凹面界定下游间隙，第二电极具有两个凹面或两个凸面；以及电压供应系统，用于独立地将电压信号供应到第一电极、第二电极和第三电极，其中电压信号随着离子束穿过第一电极、第二电极和第三电极而将离子束加速和减速。; and a voltage supply system to independently supply voltage signals to the first, second and third electrode, that accelerate and decelerate the ion beam as it passes through the first, second, and third electrode.