| 发明名称 |
萃取电极及离子源;EXTRACTING ELECTRODE AND ION SOURCE |
| 摘要 |
本发明提供一种可获得直进性高的离子束的萃取电极及离子源。本发明的萃取电极具备：包含阳极氧化膜的绝缘层、配置于绝缘层的一个面的加速电极、以及将加速电极与绝缘层在厚度方向贯通的多个贯通孔，贯通孔的纵横比(平均长度/平均开口直径)为16以上、1000以下。 |
| 申请公布号 |
TW201521068 |
申请公布日期 |
2015.06.01 |
| 申请号 |
TW103141394 |
申请日期 |
2014.11.28 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 FUJIFILM CORPORATION |
发明人 |
黒冈俊次 KUROOKA, SHUNJI |
| 分类号 |
H01J27/02(2006.01);H01J37/08(2006.01) |
主分类号 |
H01J27/02(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
叶璟宗郑婷文詹富闵 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 JP |
