筒夹及固晶装置

摘要

在历来之筒夹方面，系在将晶粒载置于中间台时，存在晶粒会破损之虞。此外，存在DAF会劣化之虞。为此，在本发明中，系提供一种筒夹及固晶装置，在从晶圆拾取晶粒而载置于中间台时，无晶粒的破损，另外无DAF的劣化。本发明，系一种筒夹，具有：对于晶粒的上表面作吸着之平坦的吸着面、及具有包围前述被吸着之晶粒的侧面之脚的筒夹前端部；前述筒夹前端部的前述脚之深度系大于前述晶粒的厚度。