感光化射线或感放射线树脂组成物及使用该组成物之图案形成方法

主权项

一种感光化射线或感放射线树脂组成物，其包含一种在经光化射线或放射线曝光时产生以下通式(I-1)之酸的化合物，
在通式(I-1)中，各Rf独立地表示氟原子、或经至少一个氟原子取代之烷基，及x为1或更大之整数，G表示单键、视情况地含醚氧之伸烷基、视情况地含醚氧之伸环烷基、伸芳基、或由该等之组合组成之基，组合基可经氧原子彼此键联，Ar表示视情况地含杂原子之芳环，其中可进一步引入-(A-B)基以外之取代基，A表示单键或二价连接基，B表示具有3个或更多碳原子之烃基，及n为1或更大之整数，Z表示羟基、或其中引入至少一个氟原子作为取代基之氟烷基磺醯胺基，及L表示二价连接基，及y为0或更大之整数，其条件为-(L)y-不表示-SO2-O-，在x、y与n各为2或更大时，Rf-C-Rf、L、与A-B各可为彼此相同或不同。