| 主权项 |
一种厚度线上即时检测之光学干涉装置，系包括：一光源，系用以产生高同调性(Coherence)点扩束之球面光波，其中该光源可由一雷射光源、一光束提升与转折器及一空间滤波扩束器所组成，该雷射光源系用以产生雷射光束，该光束提升与转折器系设置于该雷射光源与该空间滤波扩束器之间，用以引导该雷射光束至所需高度及方向，而该空间滤波扩束器系设置于该光束提升与转折器前方，用以过滤光场中之空间杂讯，并均匀地扩展该雷射光束，使其形成大范围球面光波前；一屏幕，系设置于该光源前方，用以将高同调性点扩束之球面光波自斜向角度照射一待测试件时产生之干涉条纹成像于其上；一影像撷取单元，系设置于该屏幕前方，用以撷取该屏幕上之干涉条纹并转换为数位影像；以及一影像处理模组，系与该影像撷取单元连结，用以分析干涉条纹之数位影像并进行数值计算，俾以取得该待测试件之全场厚度分布。 |
