面位置检测装置、面位置检测方法、曝光装置、及元件制造方法

主权项

一种面位置检测装置，用以检测物体之既定面的位置资讯，其具备：第1光学系统，系从相对于该既定面倾斜之方向投射光；第2光学系统，系接收来自该物体之该光；检测系统，系接收来自该第2光学系统之该光，并根据该光来检测该既定面在与该既定面交叉之方向的位置资讯；以及相位差赋予系统，系设于将该第1光学系统之光路横切之面，在朝向该物体之既定面之光中于该横切之面通过彼此不同部分之第1光与第2光之间赋予相位差。