多晶矽之制造方法;PROCESS FOR PRODUCING POLYCRYSTALLINE SILICON

摘要

本发明提供一种用于制造多晶矽的方法，其包括使多晶矽沉积于一支撑体上，以便获得一多晶矽棒，或使多晶矽沉积于矽粒子上，以便获得多晶矽颗粒，其中每种沉积在反应器中都在一1到100 000级的清洁室内实现，其中将经过滤空气导入到所述清洁室中，其中所述空气系藉由首先使其通过至少一个分离出大于或等于1微米的粒子的过滤器并且然后通过一分离出小于1微米的粒子的气载粒子过滤器而过滤。