电浆处理装置及电浆处理方法

主权项

一种电浆处理装置，其特征系具有：处理容器，其系具有介电质的窗；线圈状的RF天线，其系配置于前述介电质窗之外；基板保持部，其系于前述处理容器内保持被处理基板；处理气体供给部，其系为了对前述基板实施所望的电浆处理，而对前述处理容器内供给所望的处理气体；高频给电部，其系为了在前述处理容器内藉由感应耦合来生成处理气体的电浆，而将适于处理气体的高频放电之频率的高频电力供给至前述RF天线；补正线圈，其系为了控制前述处理容器内的前述基板上的电浆密度分布，而在可藉由电磁感应来与前述RF天线结合的位置配置于前述处理容器之外；开关元件，其系设于前述补正线圈的回路内；及开关控制部，其系以所望的负荷比藉由脉冲宽调变来ON/OFF控制前述开关元件。