半导体扩散设备中石英反应管之装卸装置及其装卸方法;DEVICE AND METHOD FOR LOADING AND UNLOADING QUATZ REACTION TUBE TO AND FROM SEMICONDUCTOR DIFFUSION EQUIPMENT

摘要

一种半导体扩散设备中石英反应管之装卸装置及方法，该装置与石英反应管之升降装置配合使用，该升降装置包含与该反应管相接触之介面法兰；该装卸装置包含平移驱动结构、直线导轨、支撑臂及可分离地固定石英反应管之辅助支撑结构。在装卸过程中，该辅助支撑结构安装于支撑臂上，透过平移驱动结构之前端与半导体扩散设备之门框藉由一固定结构对接，以及支撑臂沿直线导轨将石英反应管平移至与升降装置之介面法兰相对接，由此平稳完成石英反应管之装卸过程。本案可对减少反应管安装时间及风险，方便设备装配及维护人员之操作。