发明名称 涂布探针及其制作方法;COATED PROBE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
摘要 一种涂布探针,其包括探针本体以及披覆层。探针本体具有末端。披覆层覆盖探针本体之末端的表面,其中披覆层包括奈米碳材层,且奈米碳材层包括奈米碳材。
申请公布号 TW201520559 申请公布日期 2015.06.01
申请号 TW102142671 申请日期 2013.11.22
申请人 财团法人工业技术研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE 发明人 曾仕君 TSENG, SHIH CHUN;吴仁杰 WU, REN JYE;杨秉兴 YANG, PING HSING;蔡丽端 TSAI, LI DUAN;吴金宝 WU, JIN BAO
分类号 G01R1/067(2006.01);G01R3/00(2006.01) 主分类号 G01R1/067(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文叶璟宗
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号 TW