用来生产大块矽碳化物的器具;APPARATUS FOR PRODUCING BULK SILICON CARBIDE

摘要

揭露一种生产矽碳化物之方法。本方法包含提供昇华炉之步骤，该昇华炉包含炉壳、至少一个置于该炉壳外之加热元件、以及置于该炉壳内藉由绝缘物围绕之热区。该热区包含坩埚，该坩埚具有置于其下部区中之矽碳化物先驱物及置于其上部区中之矽碳化物晶种。将该热区加热以令该矽碳化物先驱物昇华，在该矽碳化物晶种之底部表面上形成矽碳化物。亦揭露用以生成矽碳化物的昇华炉以及所产生的矽碳化物材料。