用以控制电镀槽中之电流密度的具有复数可切换的导电元件之不溶性阳极;AN INSOLUBLE ANODE WITH A PLURALITY OF SWTICHABLE CONDUCTIVE ELEMENTS USED TO CONTROL CURRENT DENSITY IN A PLATING BATH

摘要

本发明系关于使用一阳极组件在一电化学槽中控制电流密度的系统和方法，该阳极组件包含配置在整个该阳极组件表面的复数阳极。在一个实施例中，该等阳极每一者可经由一中介电开关连接至一电源供应器。一开关控制器允许在处理期间选择阳极何者应加以开启或关闭。以此方式，整个阳极组件的电流密度可藉由开启及关闭选择的阳极而以均匀的方式加以控制。关闭一部分的阳极可在那个区域降低电流密度。类似地，开启该部分的阳极将增加在那个区域中的电流密度。