| 发明名称 |
用于批次处理的倾斜板及其使用方法;TILTED PLATE FOR BATCH PROCESSING AND METHODS OF USE |
| 摘要 |
提供一种用于处理多个基板的处理腔室及方法且其一般包括气体分配组件、基座组件与气体分流器，基座组件将基板沿着邻近各气体分配组件的路径旋转，气体分流器改变处理腔室中的气体流动角度。 |
| 申请公布号 |
TW201520363 |
申请公布日期 |
2015.06.01 |
| 申请号 |
TW103140849 |
申请日期 |
2014.11.25 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
尤都史凯约瑟夫 YUDOVSKY, JOSEPH;葛瑞芬凯文 GRIFFIN, KEVIN |
| 分类号 |
C23C16/455(2006.01);H01L21/67(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
