发明名称 |
成膜遮罩及其制造方法;DEPOSITION MASK AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
摘要 |
本发明系构成为具备有:遮罩片,系具备对应于基板所成膜之薄膜图案而形成复数开口图案之树脂制膜;以及在该膜之一面,设置于形成有该复数开口图案之有效区域内,并设有将该复数开口图案中至少一个开口图案加以内包之大小的贯通孔之磁性金属薄膜;以及磁性金属构件之金属遮罩,系与该遮罩片分离独立而设于该遮罩片之该磁性金属薄膜侧,并形成有将该磁性金属薄膜加以内包大小之开口部。 |
申请公布号 |
TW201520349 |
申请公布日期 |
2015.06.01 |
申请号 |
TW103134972 |
申请日期 |
2014.10.08 |
申请人 |
V科技股份有限公司 V TECHNOLOGY CO., LTD. |
发明人 |
工藤修二 KUDO, SYUJI;斋藤雄二 SAITO, YUJI;水村通伸 MIZUMURA, MICHINOBU |
分类号 |
C23C14/04(2006.01);C23C16/04(2006.01);H01L51/50(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
林秋琴陈彦希 |
主权项 |
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地址 |
日本 JP |