于透明材料内部施行雷射丝化之系统;SYSTEM FOR PERFORMING LASER FILAMENTATION WITHIN TRANSPARENT MATERIALS

摘要

本发明揭露一种用以在透明材料中形成连续性雷射光丝之系统。将一种超快雷射脉冲丛波聚焦，使得一光束腰部形成在所处理材料之外部，且不会形成一外电浆通道，同时在不会造成在该材料内部光学崩解之情况下，在该材料内部的一延伸区域内形成一足够能量密度，以支持一连续性光丝的形成。根据这方法所形成的光丝可延伸超过10毫米。在某些实施例中，使用一像差光学聚焦元件来产生一外光束腰部，同时在该材料内产生该入射光束之分散式聚焦。本发明所述之各种系统有助于在透明基板内形成多数光丝阵列，以便进行分裂/分割及/或标记。该等光丝之光学监测可以被使用来提供回馈，以便主动控制该程序。