喷洒系统帮浦清洗顺序;SPRAY SYSTEM PUMP WASH SEQUENCE

摘要

本发明提供一种用于具有具备一共同帮浦之复数个主流体源及一流体输出之一系统的方法，其包含停止泵抽一第一流体；使该共同帮浦与该流体输出及该等主流体源隔离；将该共同帮浦之一入口连接至一溶剂源，且将该共同帮浦之一出口连接至一废液储存桶；首先以一泵抽模式、接着以一再流通模式，且然后以一清除模式致动该共同帮浦；将该共同帮浦之一入口连接至一第二主流体源，且将该共同帮浦之一出口连接至输出管线；及开始透过该输出管线，自该第二主流体源泵抽一第二流体。