电浆装置及电浆装置的操作方法

主权项

一种电浆装置，包括：一介电屏障，具有一上游端及一下游端，且定义出一空间；一第一电极结构，位于该空间中，该第一电极结构与该介电屏障之间具有一间隙，其中该间隙具有多重宽度；一第二电极结构，配置于该第一电极结构周围，并且该介电屏障位于该第一电极结构与该第二电极结构之间，其中该第二电极结构包括多个电极块，该些电极块由该上游端向该下游端依序排列；以及一第三电极结构，其中该介电屏障、该第一电极结构与该第二电极结构都位于该第三电极结构的同一侧，且该第三电极结构位于该介电屏障的该下游端，该些电极块与该第三电极结构之间的最小距离不小于该第一电极结构与该第三电极结构之间的距离。