投影物镜畸变之测量方法

主权项

一种投影物镜畸变之测量方法，包括：将一包含有特征标记的掩模版放置于掩模台，将一基底放置于工件台；进行掩模台步进曝光，具体包括：将基底移至投影物镜的一曝光场位置；进行第一次曝光，在基底上获得所述特征标记对应于当前曝光场的第一特征图形；固定工件台，使掩模台步进一第一距离后进行第二次曝光，在基底上获得所述特征标记对应于当前曝光场的第二特征图形；获得所述第一特征图形和第二特征图形之间的一第一位置偏差；进行工件台步进曝光，具体包括：将基底移至投影物镜的一曝光场位置；进行第一次曝光，在基底上获得所述特征标记对应于当前曝光场的第三特征图形；固定掩模台，使工件台步进一第二距离后进行第二次曝光，在基底上获得所述特征标记对应于当前曝光场的第四特征图形；获得所述第三特征图形和第四特征图形之间的一第二位置偏差；
消除第一位置偏差中所包含的掩模台和/或工件台的运动误差，得到一第一修正偏差；消除第二位置偏差中所包含的掩模台和/或工件台的运动误差，得到一第二修正偏差；求所述第二修正偏差与所述第一修正偏差的差值，并根据该差值计算出投影物镜畸变。