发明名称 LED晶圆定位装置
摘要
申请公布号 TWI487060 申请公布日期 2015.06.01
申请号 TW101107847 申请日期 2012.03.08
申请人 LG CNS股份有限公司;罗普伺达股份有限公司 发明人 柳仁桓;李学杓;杨日灿;李镐仲
分类号 H01L21/683;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项 一种LED晶圆定位装置,包括:定位装置主体(10),其根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面(11)向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆(99);和导向部件(20),其被配置在所述放出面(11)的下部,使空气能够沿所述放出面(11)移动,其中,该LED晶圆定位装置的特征在于包括:单一的中央孔(25),其被配备在所述导向部件(20)的中央单元,位于与所述放出面(11)对应的部位内;和支撑单元(30),其被配备为向所述导向部件(20)的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆(99);其中,在所述支撑单元(30)的下端配备倾斜的锥拨(31),使其越向下则直径越大。
地址 南韩