发明名称 |
光罩 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWI486720 |
申请公布日期 |
2015.06.01 |
申请号 |
TW101102857 |
申请日期 |
2012.01.20 |
申请人 |
LG化学股份有限公司 |
发明人 |
金信英;洪敬奇;尹赫;朱元喆;赵镛一;朴文洙;高铜浩;柳秀英 |
分类号 |
G03F7/20;G02F1/1337 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;詹富闵 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;郑婷文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
一光罩,系包括至少一个开口,以导引一光线至一主体,其中该开口之尺寸系根据该光罩与该主体之间的距离而调整;该主体具有一曲面。
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地址 |
大韩民国 105-721 首尔特别市 永登浦汝矣大路 LG双子大楼 128 |