半导体装置和其制造方法

主权项

一种半导体装置，包含：一基板；在该基板上的包括一闸极电极的第一导电层；在该闸极电极上的一闸极绝缘层；在该闸极绝缘层上的包括一通道形成区域的一微晶半导体层；在该微晶半导体层上的一非晶半导体层；在该非晶半导体层上的一保护膜；以及在该非晶半导体层及该保护膜上的一对半导体层，其中，该微晶半导体层包含受体杂质元素，以及其中，该微晶半导体层的全部与该闸极电极重叠。