照明装置、曝光装置以及微元件的制造方法

主权项

一种照明装置，是藉由自一光源射出之一照明光而对一被照射面进行照明之该照明装置，其特征在于包括：一入射侧反射型复眼光学系统，其藉由将复数个第一反射型部分光学系统平行配置而构成；一射出侧反射型复眼光学系统，藉由将分别与构成该入射侧反射型复眼光学系统之该些第一反射型部分光学系统相对应的复数个第二反射型部分光学系统平行配置而构成；以及一聚光器光学系统，包括将由该入射侧反射型复眼光学系统及该射出侧反射型复眼光学系统所反射之该照明光朝向该被照射面进行反射的两个反射镜，且该两反射镜之曲率中心至少一方，光学性偏向于该被照射面之照明区域中心之法线，该被照射面位于该聚光器光学系统与该两反射镜之曲率中心之间。