使用编码孔径之反射阴影遮罩对准技术;REFLECTION SHADOW MASK ALIGNMENT USING CODED APERTURES

摘要

在一种阴影遮罩-基板对准方法中，光源、分束器、包括第一格栅的第一基板、包括第二格栅的第二基板、以及光接受器经彼此相对定位成可界定一光路，该光路包括由该光源输出而第一次被该分束器反射的光线。第一次被反射的光线穿经该第一或该第二格栅以及第二次被该第二或该第一格栅至少向后部份反射各自通过该第一或该第二格栅。第二次被反射的光线至少部份穿经该分束器以便被该光接受器接收。该第一基板、该第二基板或两者的方位被调整成可定位该第一格栅、该第二格栅或两者直到该光接受器接收一预定数量。